方案需求：

采用工业以太网将所有设备间通讯进行连接，在网络硬件系统中，按照设备所在区域产品不同，集中组网采集、分类展示。

一、分别设计现场客户端操作员站，可以直观观测到本工艺段所有设备实时状态数据、曲线趋势报表。

二、是根据工艺要求，对相关重要工艺点进行报警监控。

三、是实时监控各设备温度状态及相关工艺段曲线变化情况，减少传统的来回巡检、来回调整的时间间隔，实现多人管控监控运行。四是数据采集后，采用标准采集软件与前端数据展示平台进行模块化连接，实现数据实时存入相关数据库，并同步MES系统。

通过该项目实施，实现半导体材料核心单晶的生长过程数据化、实时化、场景化和可追溯化管理。

方案执行：

一、生产设备自动化。通过引入机器人，提高生产效率，降低人为流动给洁净空间造成的污染，提高产品质量。

二、建设ERP系统。实现生产订单（研发）导入，生产任务管理、供应商管理、物料平衡管理、订单过程跟踪管理、产品出入库管理等。

三、建设MES系统。实现生产制造过程中人、机、料、法、环、测的管控及分析，重点是来料质量管控、过程工艺质量管控分析、设备管控、操作人员管理和生产制造环境管理等。

四、单晶炉集中采集集控系统。实现半导体材料核心单晶的生长过程数据化、实时化、场景化、可追溯化管理。

五、厂务在线监控系统。厂务指标的实时监控，超规报警，提升厂务系统异常处理响应速度。

六、引入单晶数值模拟软件。实现高压高温不可视单晶生长环境下热场、流场等数值模拟，提高研发效率。